微米/纳米加工技术国家级重点实验室自2000年批准建立以来，紧紧围绕非硅三维微加工技术，开展非硅材料的微米/纳米加工技术的基础与应用基础及其创新工艺技术设计开发研究，突破了一系列关键技术，开发了一系列具有自主知识产权的非硅微米/纳米加工先进工艺技术，建立了面向多用户开放使用的先进的非硅的微米/纳米加工开放工艺规范，研制了一批关键MEMS器件。同时以低维纳米材料制备为基础，开展与其相关的加工工艺和应用基础技术研究，在碳纳米管的表面修饰、分离、双向电泳法和自组装法排布、纳米焊接、碳纳米管气体离化传感器机理、碳纳米管光伏电池等，在制备纳电子器件关键技术取得重要突破，发表了一批高水平的文章。

实验室近十年来获得国家技术发明二等奖两项，国家自然科学二等奖一项，省部级奖励十多项。科研经费过亿元，发表文章一千多篇，其中高水平的SCI文章四百多篇，申请发明专利四百多项，其中授权发明专利近二百项。实验室目前有固定人员20人，其中教授9人，副教授4人，培养了五百多名硕士和博士研究生。重点实验室目前有关键设备20台套，价值1000万元以上，包括有溅射机、光刻机、RIE等MEMS关键设备。

微惯性(微陀螺、微加速度计等)、微仿生机器人（仿鸟/仿昆微飞行机器人等）、微流控生化芯片、MEMS流体壁面应力检测与控制、微安全保证等微纳光机电技术及其相关的建模、设计、电路控制检测（嵌入式系统）、微纳加工和系统集成与应用。

论文

A novel safety device with metal counter meshing gears discriminator directly driven by axial flux permanent magnet micromotors based on MEMS technology.Weiping Zhang, et al..Journal of Micromechanics and Microengineering.

The study of an electromagnetic levitating micromotor for application in a rotating gyroscope.Weiping Zhang, et al.Sensors and Actuators A: Physical Volume 132, Issue 2, 20 November 2006 , Pages 651-657,2006.

Research on reference vibration for two-axis piezoelectric micro-machined gyroscope.Yipeng Lu, Xiaosheng Wu, Weiping Zhang*, et al.Journal of Micromechanics and Microengineering.

Optimization and analysis of novel piezoelectric solid micro-gyroscope with high resistance to shock.Yipeng Lu, Xiaosheng Wu, Weiping Zhang*, et. al.Microsystem Technology.

Compact H robust rebalance loop controller design for a micromachined electrostatically suspended gyroscope.Gaoyin Ma, Wenyuan Chen, Weiping Zhang*，et al..ISA Transactions 49.

具有正方形表面长方体压电振子的全固态双轴陀螺仪.张卫平，卢奕鹏等.

微型扑翼式仿生飞行器.陈文元，张卫平.上海交通大学出版社,2010.